Das MWLI^®-Messverfahren kann überall dort eingesetzt werden, wo hochgenaue Abstandsmessungen und Topologiemessungen vorgenommen werden, Kontaktverfahren aber nicht eingesetzt werden können oder nicht erwünscht sind. Aufgrund des großen Arbeitsabstands und des großen Eindeutigkeitsbereichs wird eine Vielzahl von Anwendungen in industrieller Umgebung möglich. Neben der nanometergenauen Messungen auf polierten Flächen kann die MWLI-Messtechnik sogar auf Flächen mit leichter Rauheit eingesetzt werden. Die kleine Bauform des Sensorkopfes ermöglicht eine einfache Integration des Sensors in industrielle Anlagen.
Die Mehrkopftechnologie (simultane 2 - 5 Kopf-Messung) erlabut in Verbindung mit dem großen Messbereich die Installation von Referenzmesssystemen, durch die die Fehler von Verfahrachsen herausgemessen werden können.

Zu den vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten gehören u.a.:

• Präzisionsjustage von Werkstücken und Maschinenbauteilen
  (z.B. in der Ultrapräzisionsbearbeitung)
• Hochgenaue Topologievermessung (Freiformflächen, MEMS-Strukturen)
• Dickenbestimmung von Objekten
• Hochpräzise Rundheitsmessung von Objekten
• Rundlaufmessung von luftrgelagerten Systemen

Vermessung der Werkstückposition
in einer Diamantdrehmaschine

Nanometergenaue Positionskontrolle
von Werkstücken

Vermessung eines strukturierten
chrombeschichteten Substrates

Vermessung der Topologie
einer goldbeschichteten Linse

Vermessung der Topologie
einer asphärischen Linse

Die Luphosmart - MWLI^®-Technologie erlaubt mit der entsprechende Aktorik die nanometergenaue Vermessung von Topologien unterschiedlichster Objekte.
Hierbei können hochreflektierende, polierte Objekte (Spiegel, metallbeschichtete Glasflächen) genauso vermessen werden wie transparente Objekte mit nur geringen Reflektivitäten im Bereich von nur R = 1% (Linsen, Substratgläser).
So stellt die LuphoSmart-MWLI^®-Messtechnik (als Multikopf-Sensorsystem) die Kerntechnologie für das LuphoScan-Asphärenmessgerät dar.

Durch den Eindeutigkeitsbereich von 1mm lassen sich auf polierten Objekten Höhenstrukturen von bis zu 1mm mit einer Genauigkeit von +- 5nm absolut in ihrer Höhe vermessen.

Chrombeschichtetes Objekt
mit 10 Stufen á 50 µm.

 

Topologiefehler
einer asphärischen Linse.

Dickenmessung von polierten Objekten
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Vermessung der Dicke
einer optischen Linse

Durch den Einsatz eines LuphoSmart-Zweikopf-Systems lässt sich die Dicke eines polierten Objektes bis in den Nanometerbereich genau vermessen. Durch eine gegenüberliegende Positionierung der zwei Sensorköpfe und der Möglichkeit des absoluten Messens mit der MWLI-Technologie werden Ungenauigkeiten der Lager bei der Bewegung des Objektes unrelevant.

Rundheitsmessung von hochgenauen Bauteilen
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Messung der Rundheit
einer Stahlkugel

Die LuphoSmart-MWLI^®-Technologie eignet sich besonders zur Vermessung der Rundheit von polierten und feingeschliffenen Objekten. Durch den großen Arbeitsabstand und die Möglichkeit der Vermessung kleiner Stufen erlaubt die LuphoSmart-Sensorik auch das Vermessen von Objekten mit großer Exzentrizität und von Objekten mit Stufen und Nuten.

Hochgenaue Rundlaufmessung von luftgelagerten Drehtischen
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Messung der Rundlauf- und Taumelfehler
mit dem LuphoSmart - 5-Kopf-System

Mit dem LuphoSmart-5-Kopf-Messsystem ist eine nanometergenaue Vermessung des Rundlaufs (Seiten- und Höhenschlag, sowie Taumelfehler) von luftgelagerten Drehtischen möglich. Mit einem Arbeitsabstand von bis zu 1cm pro Sensor lässt sich das Sensorsystem leicht justieren und erlaubt auch die Vermesssung von Rotations-bewegungen mit großer Exzentrizität. Durch die kleinen Sensoren und die flexible Anbindung ist auch ein leichtes Umrüsten bestehender Rundlaufmesssysteme möglich.

Auswertung der Rundlaufmessung (karthesisch)
und in Polarkoordinaten
 

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