Das MWLI®-Messverfahren beruht auf der simultanen Auswertung der Phaseninformation zweier oder mehrerer Wellenlängen, die, am Messobjekt reflektiert, mit einem intern reflektierten Signal überlagert werden (Interferometer).
Durch die Verrechnung der Phaseninformation der unterschiedlichen Wellenlängen miteinander ergibt sich eine „künstliche“ Wellenlänge, die den Eindeutigkeitsbereich der Phasenbestimmung um ein Vielfaches streckt.
Die Genauigkeit der Messung bleibt jedoch hierbei durch die Bestimmung der Phasenlage einer einzelnen Wellenlänge erhalten.
Das von der Firma Luphos entwickelte
Mehr-WellenLängen-Interferometer (MWLI®) ermöglicht
eine hochpräzise Abstandsbestimmung. Die
Vorteile des MWLI-Verfahrens sind:
Klein und leicht
Der Sensorkopf des MWLI® ist robust und nur wenige
Gramm schwer. Mit seinen Abmessungen von
nur 18X40mm läßt er sich leicht und flexibel in eine Vielzahl
von Anwendungen integrieren.
Berührungslos
Die Messung erfolgt optisch bei einer Wellenlänge
von ca. 1560nm mit einer geringen Lichtleistung.
Damit ist eine Beschädigung des Prüflings ausgeschlossen.
Schnell
Durch die Samplingfrequenz im kHz-Bereich lassen sich dynamische Messungen realisieren.
Genau und absolut
Die Mehrwellenlängeninterferometrie ermöglicht
hochgenaue Messungen mit Nanometer-Präzision in
einem Eindeutigkeitsbereich bis zu 2mm. Durch die
Verwendung mehrerer unterschiedlicher Wellenlängen
lässt sich der Abstand im Eindeutigkeits-bereich absolut bestimmen.
Ein „Zählen“ von Interferenz-streifen entfällt hierbei
und selbst durch eine Unterbrechung des Messstrahls
während der Messung geht die Information
über den Abstand nicht verloren.
Großer Messbereich
Über den Eindeutigkeitsbereich hinaus kann der Messbereich einer kontinuierlichen
Messung mehrere Zentimeter betragen. Damit ist die Vermessung von Objekten mit großer
Höhendifferenz auch ohne Nachführen des Sensors möglich.
Messung von polierten und rauen Oberflächen
Das MWLI®-Verfahren erlaubt eine Vermessung von polierten sowie auch rauen Oberflächen
mit dem gleichen Sensorkopf.
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